薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)具有輕薄、功耗低、成本低等優(yōu)點(diǎn)，其相關(guān)產(chǎn)品已經(jīng)深入社會(huì)生活的方方面面，從智能手機(jī)、平板電腦到大尺寸液晶電視等，TFT-LCD大約占80%以上的顯示面板市場份額。這類顯示面板是由大量的液晶顯示單元陣列組成(如4K分辨率的屏幕含有800多萬個(gè)顯示單元陣列)，而每一個(gè)液晶顯示單元，都由一個(gè)單獨(dú)的薄膜晶體管(TFT)所控制和驅(qū)動(dòng)，如圖1所示。

薄膜晶體管陣列的制作原理，是在真空條件下，利用離子束流去轟擊固體，使固體表面的原子電離后沉積在玻璃基板上，經(jīng)過反復(fù)多次的“沉積+刻蝕”，一層層(一般為7-12層)地堆積制作出薄膜晶體管陣列。這種被轟擊的固體，即用濺射法沉積薄膜的原材料，就被稱作濺射靶材。

1、靶材分類

用于制作薄膜晶體管液晶顯示面板的金屬靶材，以鋁靶、銅靶、鉬靶和鉬鈮合金靶為主，部分平板顯示企業(yè)也會(huì)用到鈦靶、鉭靶、鈮靶、鉻靶以及銀靶等。但由于各家企業(yè)所采用的濺射工藝不同，其所選的濺射靶材也有區(qū)別，例如，京東方用銅靶、鋁靶、鉬靶和鉬鈮靶，韓國三星用鉭靶、鈦靶，但不用鉬鈮靶，中電熊貓用鈦靶，但不用鉬靶、鉭靶等。本文主要以鋁靶、銅靶、鉬靶以及鉬鈮合金靶為主要研究討論對象，具體如圖2所示。

2、供應(yīng)格局

(1)鋁靶：目前國內(nèi)液晶顯示行業(yè)用鋁靶材主要被日資企業(yè)主導(dǎo)。

外企方面：愛發(fā)科電子材料(蘇州)有限公司大約占據(jù)國內(nèi)50%左右的市場份額。其次，住友化學(xué)也占有一部分市場份額。

國產(chǎn)方面：江豐電子從2013年左右開始介入鋁靶材，目前已大批量供貨，是國產(chǎn)化鋁靶材的龍頭企業(yè)。另外，南山鋁業(yè)、新疆眾和等企業(yè)也具備高純鋁的生產(chǎn)能力。

(2)銅靶：從濺射工藝的發(fā)展趨勢上來講，對銅靶材的需求比例一直在逐步增加，加之，近幾年國內(nèi)液晶顯示行業(yè)的市場規(guī)模一直在不斷擴(kuò)大，因此，平板顯示行業(yè)對銅靶材的需求量將繼續(xù)呈上升趨勢。

外企方面：愛發(fā)科電子材料(蘇州)有限公司幾乎壟斷著國內(nèi)銅靶材市場，市場占有率在80%以上，且該公司近幾年?duì)I收的增加額，主要來自于銅靶材銷量的增加。

國產(chǎn)方面：有研新材具備高純銅原料生產(chǎn)能力，但沒有液晶顯示行業(yè)用的條形靶材生產(chǎn)線，目前主要致力于半導(dǎo)體行業(yè)用圓形靶材生產(chǎn)；洛銅集團(tuán)具備高純銅生產(chǎn)能力但不生產(chǎn)靶材，且高純銅原料價(jià)格和進(jìn)口原料相比，在價(jià)格方面無明顯競爭優(yōu)勢；江豐電子引進(jìn)海外高端人才，致力于開發(fā)高純銅原料和銅靶材，即將批量生產(chǎn)。

(3)鉬靶：鉬靶具體又分為條靶、寬靶和管靶3種，其中，4.5代、5.5代和6代線一般使用寬幅鉬靶，而8.5代及以上世代線用使用組合條靶或管靶。

組合條靶：

外企方面：國外的奧地利攀時(shí)、德國世泰科、日本愛發(fā)科等企業(yè)已基本退出了這部分市場。

國產(chǎn)方面：國內(nèi)鉬靶材企業(yè)主要集中在洛陽地區(qū)，其中，隆華節(jié)能下屬的洛陽高新四豐電子材料有限公司占據(jù)了國內(nèi)60%多的市場份額，另外，洛陽高科鉬鎢材料有限公司占據(jù)了國內(nèi)大約10%左右的市場份額。

寬幅鉬靶：

外企方面：國外的攀石、世泰科等企業(yè)基本壟斷著國內(nèi)寬幅鉬靶材市場。

國產(chǎn)方面：截止2017年底，國產(chǎn)化的寬幅鉬靶材尚未在液晶顯示面板生產(chǎn)中獲得實(shí)際應(yīng)用。但國內(nèi)多家企業(yè)正在積極試制和驗(yàn)證，預(yù)計(jì)2018年應(yīng)該能夠?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)化應(yīng)用。

其中，洛陽高新四豐電子材料有限公司已于2017年3月31日召開寬靶技術(shù)鑒定會(huì)，但尚未在下游企業(yè)取得正式批量應(yīng)用；西安格美金屬材料有限公司也在積極研制寬幅靶材，并大力拓展下游企業(yè)應(yīng)用；阿石創(chuàng)和金鉬股份這兩家上市公司利用各 自在寬幅靶材軋制和靶材加工及銷售方面的優(yōu)勢，開展緊密合作，金鉬股份向阿石創(chuàng)銷售寬幅鉬靶坯和條形鉬靶坯(條形靶坯由寬幅靶坯切割而成)，阿石創(chuàng)負(fù)責(zé)后續(xù)綁定等工序和成品銷售工作。

鉬管靶：

8.5代線用的鉬管靶，每套包含12根，每根單重約為300kg，每套重量約為3600kg。由于鉬管靶的實(shí)際利用率約為70%，因此，每套鉬管靶的成膜重量約為2500kg。每條8.5代線對鉬管靶的需求量約為30×10³年。

另外，鉬管靶的供應(yīng)商，除了要通過其面板生產(chǎn)企業(yè)的認(rèn)證外，還要通過鉬管靶濺射設(shè)備生產(chǎn)商美國AKT公司的認(rèn)證，并且要被收取鉬管靶售價(jià)約5%的認(rèn)證費(fèi)。目前，國內(nèi)采用管靶濺射設(shè)備的生產(chǎn)線只有1條，而且業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為鉬管靶的發(fā)展空間并不大。

(4)鉬鈮10合金靶：

鉬鈮10合金作為薄膜晶體管的擴(kuò)散阻隔層鉬一鋁一鉬的重要替代材料，市場需求前景較好。但由于鉬原子與鈮原子的互擴(kuò)散系數(shù)差別很大，通過高溫?zé)Y(jié)后鈮顆粒的位置會(huì)產(chǎn)生大孔洞，燒結(jié)致密度難以提高，此外，鉬原子與鈮原子充分?jǐn)U散后會(huì)形成很強(qiáng)的固溶強(qiáng)化，導(dǎo)致其壓延性能惡化。

西部金屬材料股份有限公司下屬西安瑞福萊鎢鉬有限公司，和愛發(fā)科電子材料(蘇州)有限公司合作，經(jīng)多次試驗(yàn)攻關(guān)，已于2017年成功軋制出了氧含量小于1000×10^-6，致密度達(dá)99.3%的Mo。Nb合金靶坯。

3、需求規(guī)模

8.5代液晶顯示面板生產(chǎn)線所使用的條形靶材，1套包含12塊條靶，每塊條靶的尺寸約為2650mm×210 mm×18mm，表1列出了1條8.5代線每年大致消耗的靶材重量。

截止2017年底，國內(nèi)已投產(chǎn)的8.5代線中，除了京東方的4條以外，華星光電有2條，中電熊貓、LG有1條、三星和龍飛各有1條，合計(jì)共有10條8.5代線，這10條8.5代線占據(jù)了國內(nèi)約80%的產(chǎn)能，因此，本文就以12條8.5代線的靶材消耗量來估算全國TFT-LCD行業(yè)用靶材消耗量。

4、認(rèn)證周期

液晶面板行業(yè)對濺射靶材的品質(zhì)和穩(wěn)定性要求很高，對供應(yīng)商資格認(rèn)證壁壘較高，認(rèn)證周期很長。

一般情況下，在1條8.5代生產(chǎn)線上完成靶材的認(rèn)證，大約需要1年時(shí)間，如果一家用戶單位擁有多條生產(chǎn)線的，則必須在上一條生產(chǎn)線完成認(rèn)證后，才能開始在下一條生產(chǎn)線上開展認(rèn)證。因此，認(rèn)證過程中投入的資金和時(shí)間成本，對多數(shù)小型企業(yè)來說是難以承受的。

5、結(jié)論

(1)TFT一LCD是當(dāng)今主流的平面顯示技術(shù)，大約占80%以上的顯示面板市場份額。

(2)用于制作薄膜晶體管液晶顯示面板的金屬靶材，包括以鋁靶、銅靶、鉬靶、鉬鈮合金、鈦靶、鉭靶、鈮靶、鉻靶以及銀靶等，其中以鋁靶、銅靶、鉬靶和鉬鈮合金靶為主。

(3)鋁靶材市場主要被日資企業(yè)愛發(fā)科和住友化學(xué)占據(jù)，國產(chǎn)化方面的龍頭企業(yè)是江豐電子；

(4)銅靶材的市場需求規(guī)模大且呈上升趨勢，日資企業(yè)愛發(fā)科幾乎壟斷著國內(nèi)銅靶材市場，國產(chǎn)化方面，江豐電子即將量產(chǎn)，有研新材具備高純銅原料生產(chǎn)能力，但沒有液晶顯示行業(yè)用的條形靶材生產(chǎn)線，洛銅集團(tuán)具備高純銅生產(chǎn)能力但價(jià)格與進(jìn)口相比無明顯優(yōu)勢，且沒有靶材生產(chǎn)線。

(5)鉬靶材具體分為條靶、寬靶和管靶3種，其中，條靶方面，國內(nèi)的洛陽四豐已占據(jù)主導(dǎo)優(yōu)勢，洛陽高科次之；寬靶方面，基本被攀石、世泰科外企壟斷，但洛陽四豐、西安格美以及阿石創(chuàng)等正在積極進(jìn)軍該市場；管靶的主要特點(diǎn)是材料利用率高，但需要通過濺射設(shè)備廠家認(rèn)證且要在銷售過程中長期收取管理費(fèi)，其市場份額小，發(fā)展空間有限。

(6)鉬鈮合金靶的加工難度極大，產(chǎn)品附加值較高，市場需求前景也比較好。但目前主要為日立和世泰科等外企壟斷，但國內(nèi)西部材料已與日本愛發(fā)科合作，成功軋制出了氧含量小于1000×10^-6，致密度達(dá)99.3%，各項(xiàng)性能達(dá)到國際高可靠性的鉬鈮合金靶坯。

(7)8.5代液晶顯示面板生產(chǎn)線所使用的1套靶材包含12塊條靶，每塊條靶的尺寸約為：2650mm×210 mm×18 mm，1條8.5代線對靶材的消耗量，鋁靶約為39×10³ kg／年，銅靶約為119×10³kg/年，鉬靶約為74×10³ kg/年，鉬鈮合金靶約為6×10³ kg/年。

(8)液晶面板生產(chǎn)企業(yè)對濺射靶材的認(rèn)證程序比較復(fù)雜，認(rèn)證周期比較漫長，因此，作為新進(jìn)入的企業(yè)，必須承受較大的資金壓力和時(shí)間成本。

參考文獻(xiàn)

[1]劉曉偉，田 明，李梁梁，等.大尺寸薄膜晶體管液晶顯示器的一種條狀顯示不均的分析和改善研究[J].液晶與顯示，2016，31(11)：10³3—10³7

[2]段樹銘，任曉辰，張小濤，等.絲網(wǎng)印刷柔性電子器件[J].化學(xué)進(jìn)展，2叭8，30(04)：429—438

[3]賈國斌，馮寅楠，賈英，等.磁控濺射用難熔金屬靶材制作、應(yīng)用與發(fā)展[J].金屬功能材料，2016，23(06)：48—52

[4]焦俊娟，張勝良，陸靜文，等.重慶京東方8.5代線項(xiàng)目快速精密施工測量技術(shù)研究[J].測繪通報(bào)，2016，S2：144一145+166

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