濺射鈦靶材在使用過(guò)程中有較高的要求，不僅要求純度、尺寸，甚至還有晶粒尺寸均勻性等，這些高要求使得我們?cè)谑褂脼R射靶材時(shí)更加要注意。下面就讓我們?nèi)チ私庀聻R射靶材在使用過(guò)程中的幾點(diǎn)注意事項(xiàng)：

1、濺射準(zhǔn)備

保持真空腔體尤其是濺射系統(tǒng)潔凈是非常重要的。任何由潤(rùn)滑油和灰塵以及前期鍍膜所形成的殘留物會(huì)收集水氣及其他污染物，直接影響真空度獲得和增加成膜失敗的可能性。短路或靶材起弧，成膜表面粗糙及化學(xué)雜質(zhì)含量超標(biāo)經(jīng)常是由于不潔凈的濺射室、濺射槍和靶材引起的。 

為保持鍍膜的成分性，濺射氣體(氬氣或氧氣)必須清潔并干燥，濺鍍腔內(nèi)裝入基材后便需將空氣抽出，達(dá)到工藝所要求的真空度。

二、靶材清潔

靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。

三、靶材安裝

靶材安裝過(guò)程中重要的注意事項(xiàng)是定要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴(yán)重或背板翹曲嚴(yán)重會(huì)造成靶材安裝時(shí)發(fā)生開(kāi)裂或彎曲，背靶到靶材的導(dǎo)熱性能就會(huì)受到很大的影響，導(dǎo)致在濺射過(guò)程中熱量無(wú)法散發(fā)終會(huì)造成靶材開(kāi)裂或脫靶。

四、短路及密封性檢查

靶材完成安裝后需要對(duì)整個(gè)陰進(jìn)行短路檢查及密封性檢查，建議通過(guò)使用電阻儀搖表的方式對(duì)陰是否存在短路進(jìn)行判斷。在確定陰不存在短路后，可以進(jìn)行檢漏檢查，將水通入陰確定是否存在漏水現(xiàn)象。

五、靶材預(yù)濺射

靶材預(yù)濺射建議采用純氬氣進(jìn)行濺射，可以起到清潔靶材表面的作用。靶材進(jìn)行預(yù)濺射時(shí)建議慢慢加大濺射功率，陶瓷類靶材的功率加大速率建議為1.5W小時(shí)/平方厘米。金屬類靶材的預(yù)濺射速度可以比陶瓷靶材塊，個(gè)合理的功率加大速率為1.5W小時(shí)/平方厘米。

相信大家知道了濺射鈦靶材的這幾點(diǎn)使用事項(xiàng)之后，對(duì)濺射靶材的使用也定有了新的認(rèn)知，希望文章會(huì)對(duì)大家有所幫助！

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